Решение задачи предобработки данных для изготовления фотошаблонов методом электронно-лучевой литографии

Решение задачи предобработки данных для изготовления фотошаблонов методом электронно-лучевой литографии

Коршунов А.В. (МНТЦ МИЭТ, Москва, Россия)
Рыжова Д.И. (МНТЦ МИЭТ, Москва, Россия)
Булах Д.А. (МНТЦ МИЭТ, Москва, Россия)
Зубарева Е.Д. (МНТЦ МИЭТ, Москва, Россия)
Салахов И.Д. (МНТЦ МИЭТ, Москва, Россия)
Швец И.И. (МНТЦ МИЭТ, Москва, Россия)
Климушкин Д.А. (МИЭТ, Москва, Россия)

Аннотация

Решая задачу изготовления фотошаблонов с применением электронного луча, зачастую бывает недостаточно провести только выходной с точки зрения проектирования интегральной схемы контроль топологии стандартными средствами САПР. Особенности, связанные с механизмами управления лучом и физикой его взаимодействия с веществом, предписывают проводить дополнительный входной контроль топологических данных для верификации геометрических характеристик, связанных именно с особенностями применения электронной литографии, а также для обеспечения воспроизводимости рисунка. В данной работе представлены результаты разработки программного модуля, предназначенного для контроля топологических данных, являющихся входными для задачи изготовления фотошаблонов с применением электронного луча. Приведён перечень требований к топологии, которые должны выполняться для решения поставленной задачи, даны примеры решения задачи проверки соответствия топологии перечисленным требованиям.

Ключевые слова

интегральная схема, топология интегральной схемы, фотошаблон интегральной схемы, программное обеспечение, электронно-лучевая литография.

Издание

Труды Института системного программирования РАН, том 38, вып. 2, 2026, стр. 183-194.

ISSN 2220-6426 (Online), ISSN 2079-8156 (Print).

DOI: 10.15514/ISPRAS-2026-38(2)-12

Для цитирования

Коршунов А.В., Рыжова Д.И., Булах Д.А., Зубарева Е.Д., Салахов И.Д., Швец И.И., Климушкин Д.А. Решение задачи предобработки данных для изготовления фотошаблонов методом электронно-лучевой литографии. Труды Института системного программирования РАН, том 38, вып. 2, 2026, стр. 183-194. DOI: 10.15514/ISPRAS-2026-38(2)-12.

Полный текст статьи в формате pdf Вернуться к содержанию тома